スコップNews Letter Vol.36はXPS装置搭載Arイオン銃による深さ方向分析時の深さ分解能の測定結果です。深さ分解能はイオンスパッタエッチングで測定される深さ方向プロファイルの界面を正確に求める際に重要となるファクターです。搭載Arイオン銃はスパッタエッチング時の材料表面の荒れが少なく、均一にエッチングすることから、界面情報を正確に求めることができます。
XPSにて深さ方向分析を実施したい方はご連絡お願い致します。
今後ともスコップへのご支援、よろしくお願い致します。